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表面活性劑_分子型雜質(zhì)吸附

作者:大堯化工 來(lái)源: 日期:2020-12-05 10:53:57 人氣:52

分子型雜質(zhì)吸附

          以分子形式吸附在硅片表面上的典型沾污雜質(zhì),主要是天然或合成油脂、樹脂和油類等物質(zhì)。在襯底制備中的切、磨、拋引入的雜質(zhì)多屬于此種類型。此外,操作者手指上的油脂,光刻膠以及有機(jī)溶劑的殘?jiān)纫簿鶎儆谶@一類型。

         分子型雜質(zhì)吸收的特點(diǎn)是它們與硅片表面的接觸通常是依靠靜電引力來(lái)維持,是一種物理吸附現(xiàn)象。由于天然或合成油脂、樹脂和油類的分子一般以非極性分子存在,它是靠雜質(zhì)的中性分子與硅片表面硅原子沒(méi)有被平衡的那部分剩余力相互吸引而結(jié)合的。結(jié)合的力與分子型晶體結(jié)構(gòu)中分子與分子間存在的范德瓦耳斯力是一樣的。這種吸引力比較弱,它隨著分子間距的增加很快被削弱,所以這種力所涉及的范圍只不過(guò)在2~3×10-8厘米(即2-3埃)左右,也就是象分子直徑那么大小的距離,因此要徹底清除這些分子型雜質(zhì)是比較容易的。分子型雜質(zhì)的另一個(gè)重要特點(diǎn)是,大多是不溶于水的有機(jī)化合物,當(dāng)它們吸附在硅片表面時(shí)將使硅片表面呈現(xiàn)疏水性,從而妨礙了去離子水或酸、堿溶液與硅片表面的有效接觸,使得去離子水或酸.堿溶液無(wú)法與硅片表面或其它雜質(zhì)粒子相互作用,因此無(wú)法進(jìn)行有效的化學(xué)清洗。


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