分子型雜質(zhì)吸附

          以分子形式吸附在硅片表面上的典型沾污雜質(zhì)，主要是天然或合成油脂、樹脂和油類等物質(zhì)。在襯底制備中的切、磨、拋引入的雜質(zhì)多屬于此種類型。此外，操作者手指上的油脂，光刻膠以及有機(jī)溶劑的殘?jiān)纫簿鶎儆谶@一類型。

         分子型雜質(zhì)吸收的特點(diǎn)是它們與硅片表面的接觸通常是依靠靜電引力來(lái)維持，是一種物理吸附現(xiàn)象。由于天然或合成油脂、樹脂和油類的分子一般以非極性分子存在，它是靠雜質(zhì)的中性分子與硅片表面硅原子沒(méi)有被平衡的那部分剩余力相互吸引而結(jié)合的。結(jié)合的力與分子型晶體結(jié)構(gòu)中分子與分子間存在的范德瓦耳斯力是一樣的。這種吸引力比較弱，它隨著分子間距的增加很快被削弱，所以這種力所涉及的范圍只不過(guò)在2～3×10－8厘米（即2－3埃）左右，也就是象分子直徑那么大小的距離，因此要徹底清除這些分子型雜質(zhì)是比較容易的。分子型雜質(zhì)的另一個(gè)重要特點(diǎn)是，大多是不溶于水的有機(jī)化合物，當(dāng)它們吸附在硅片表面時(shí)將使硅片表面呈現(xiàn)疏水性，從而妨礙了去離子水或酸、堿溶液與硅片表面的有效接觸，使得去離子水或酸．堿溶液無(wú)法與硅片表面或其它雜質(zhì)粒子相互作用，因此無(wú)法進(jìn)行有效的化學(xué)清洗。